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原文链接:https://www.nature.com/articles/d41586-026-01050-5
原文作者:Katherine Bourzac
一个比伦敦双层巴士还要庞大的强力光源创造了一项新纪录:它能够在硅片上制造出宽度仅为8纳米(nm)的结构。据信,这是目前商业芯片图案化系统单次制造出的最小结构。该系统制造商表示,与上一代用于此类用途的光源相比,该技术制造出的芯片能够容纳2.9倍的晶体管。
该设备通过一个图案化的“掩模”,将极紫外(EUV)光投射到涂有光敏化学物质的硅片表面。在光的照射下,这些化学物质会按照相同的图案固化。随后,硅片经过化学蚀刻并重复上述过程,从而制造出芯片的所有电子组件,包括被称为晶体管的微型开关,以及连接它们极其精细的导线。
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